| ウェハ自動搬送測定システム VMR3020+NWL860T |
| 適合ウェハサイズ |
φ150mm/200mm（SEMI／JEIDA適合、シリコン製） |
| 標準ウェハキャリア |
Entegris社製 150mm：PA182-60MB 200mm：192-80M |
1キャリア当りの処理時間
（25枚連続搬送） |
8分＋NEXIV測定時間 |
| オリフラ／ノッチ検出 |
非接触・透過型センサによるオリフラ／ノッチ検出 |
| ウェハ搬送／保持 |
真空吸着式メカ搬送 |
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本体寸法(W×D×H)
（PCラックを除く）
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1700×960×1735mm |
設置寸法(W×D)
（操作及びメンテナンス領域を除く） |
2750×1100mm |
| 本体質量 |
約370kg |
| 用力 |
電力 |
AC100V±10%、50／60Hz、最大11.5A |
| 真空 |
−800hPa（−600mmHg）、10Nl/min |
