NEXIV VMR＞コンフォーカルNEXIV VMR-K3040ZC

VMR-H3030	VMR-1515	VMR-3020	VMR-6555	VMR-10080	VMR-12072
VMR-H3030TZ	VMR-1515TZ	VMR-3020TZ	VMR-6555TZ	VMR-10080TZ	VMR-12072TZ
	VMR-1515LU	VMR-3020LU	VMR-6555LU	VMR-10080LU	VMR-12072LU

NWL860T

NWT-3000

VMR-K3040ZC

VMR-C4540

■特長
・最先端パッケージの立体形状の評価が高速・高精度に行える、コンフォーカルNEXIV
・同一視野での2次元測定および高さ測定が可能
・ニコンのオプトメカトロ技術を結集して開発した、まったく新しいタイプの画像測定機
・共焦点光学系を用いて高速、高精度で微細な立体形状を検出、評価
・15倍ズームを備えた明視野光学系での2次元寸法測定も行える、マルチ機能測定装置
・ウェハレベルCSPなどの最先端パッケージ上の微細バンプの製造工程管理や、MEMSやプローブカードなどの微細な複雑構造物の検査などにすばらしい威力を発揮

■仕様

対物レンズ
倍率		1.5×	3×	7.5×
W.D.		24mm	24mm	5mm
共焦点光学系（エリア高さ測定）
最大高さスキャン範囲		1mm	1mm	1mm
視野範囲		8 mm×6 mm	4 mm×3 mm	1.6 mm×1.2 mm
測定精度（2σ）		0.6μm	0.35μm	0.25μm
スキャン時間		1.5秒/FOV
明視野光学系（2次元測定）
変倍方式		電動5段階ズーム（変倍比 15×）
視野範囲		8 mm×6 mm ～0.53 mm×0.4 mm	4 mm×3 mm ～0.27 mm×0.2 mm	1.6 mm×1.2 mm ～0.11 mm×0.08 mm
照明		透過、同軸落射、8分割LED斜光
オートフォーカス		TTLレーザAF
本体
ストローク（X、Y、Z）		300 mm×400 mm×150 mm
許容搭載質量精度保証		20 kg
XY測定精度	U1X/Y	1.5＋4L/1000 μm
	U2XY	2.5＋4L/1000 μm
Z測定精度		1.5＋L/150 μm
本体／操作ラック質量		約900 kg ／約250 kg（標準セット時）
供給電源／消費電流		AC 100 ～ 240 V ±10% 50/60 Hz ／ 13 A ～ 6.5 A
環境条件		温度：20℃±0.5K／湿度：70%以下
取得規格		CEマーキング（低電圧／EMC／レーザ）

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