適合キャリア
（FOUP、FOSB、OC） |
SEMI規格準拠の300mmウェハ用キャリア、
200mmウェハ用キャリア（専用アダプタ使用時） |
| ストローク |
測定ヘッド（X×Y×Z） |
480mm×180mm×400mm |
| 回転テーブル |
360°（90°単位） |
| 最小表示単位 |
0.1μm |
| ヘッド移動速度 |
XZ軸：最大200mm/s、Y軸：最大50mm/s |
|
キネマティックプレート回転速度
|
90°/2sec. |
| カメラ |
白黒1/2型CCD |
| 本体質量 |
約370kg |
| 光学倍率 |
0.27×〜2.74×（5段階10×ズーム） |
| 視野 |
20×16mm〜2.0×1.6mm |
| 被検物最大質量 |
15kg |
| 測定精度 |
（10＋10L/1000）μm Lは測定長（mm） |
| 繰り返し精度（2σ） |
2μｍ |
| 照明 |
同軸反射照明、LED斜め照明、LED透過照明 |
| オートフォーカス |
レーザAF、イメージAF |
| 供給電源 |
AC100V〜120V / AC200〜240V ±10％、50/60Hz |
| 消費電流 |
AC100V〜120V （本体約13A / PC約9A）
AC200V〜240V （本体約7A / PC約5A） |
| サイズ（W×D×H） |
1400×1739×2520mm
（搬入時約1400×約1500×約2000mm） |
| 質量 |
約1400kg |
| ホストコンピュータ |
IBM PC/AT互換機（Windows®XP） |
| モニタ |
19型TFT |
