VMR-6555LU

大ストロークタイプ・LUモデル NEXIV VMR-6555LU

■測定対象
・FPDパネル

■特長
・明視野、暗視野、微分干渉、簡易偏光観察に対応
・5ヶ孔電動ユニバーサルレボルバにより測定をスピードアップ
・CFI60システムの豊富に揃った対物レンズが使用可能
・観察、測定からデータ処理まで、CNC自動リプレイ機能で制御可能


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■測定例
液晶基板(DIC
液晶基板(DIC

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