| 本体部 |
| ストローク（X×Y×Z） |
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| (高倍対物使用時) |
150×150×150mm |
| (低倍対物使用時) |
100×150×150mm |
| 最小表示単位 |
0.1μm |
| 被検物最大質量 |
20kg |
| 測定精度 |
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U1X, U1Y |
1.5 + 4L/1000μm （被検物質量5kg時） |
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U2XY |
2.5 + 4L/1000μm（被検物質量5kg時） |
| Z軸測定精度 |
1.5 + L/150μm |
| カメラ |
白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン）
カラー1/3型CCD |
| 作動距離 |
高倍対物使用時 9.8mm 低倍対物使用時 32mm |
| 倍率／視野 |
光学倍率 1〜120×
総合倍率 36〜4320×
視野 4.67×3.5〜0.039×0.029mm |
| オートフォーカス |
TTLレーザAF／イメージAF |
| 照明 |
垂直落射、透過（高倍ヘッドのみ）、暗視野照明 |
| 供給電源 |
AC100V±10%、50/60Hz |
| 消費電流 |
13A |
| 寸法（W×D×H）/質量 |
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本体 |
512×703×1200mm／約180kg |
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本体＋測定台 |
690×730×1725mm／約220kg |
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コントローラ |
250×550×500mm／約31kg |
| 設置寸法（W×D） |
2100×1100mm |
| ホストコンピュータ |
| 本体 |
IBM PC/AT互換機 (Windows®XP) |
| CRT |
20型TFTカラー |
