| 本体部 |
| ストローク（X×Y×Z） |
1000×800×150mm |
| 最小表示単位 |
0.1μm |
| 被検物最大質量 |
40kg |
| 測定精度 |
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U1X, U1Y |
2 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時） |
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U2XY |
3 + 4L/1000μm（被検物質量40kg時） |
| Z軸測定精度 |
1.5 + L/150μm |
| カメラ |
白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン）
カラー1/3型CCD |
| 作動距離 |
50mm |
| 倍率／視野 |
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タイプ1 |
光学倍率 0.5〜7.5×
総合倍率 18〜270×
視野 9.33×7〜0.622×0.467mm |
| |
タイプ2 |
光学倍率 1〜15×
総合倍率 36〜540×
視野 4.67×3.5〜0.311×0.233mm |
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タイプ3 |
光学倍率 2〜30×
総合倍率 72〜1080×
視野 2.33×1.75〜0.155×0.117mm |
| オートフォーカス |
TTLレーザAF／イメージAF |
| 照明 |
透過、垂直落射、8分割LEDリング照明（中入射角／大入射角） |
| 供給電源 |
AC100V±10%、50/60Hz |
| 消費電流 |
最大9A |
| 寸法（W×D×H）/質量 |
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本体 |
― |
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本体＋測定台 |
1530×2200×1750mm／約1500kg |
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コントローラ |
250×550×500mm／約31kg |
| 設置寸法（W×D） |
2800×2500mm |
| ホストコンピュータ |
| 本体 |
IBM PC/AT互換機 (Windows®XP) |
| CRT |
20型TFTカラー |
