| ストローク(X×Y×Z) |
250×200×200mm |
| 最小表示単位 |
0.1µm |
| 被検物最大質量 |
15kg |
| 最大許容指示誤差 |
(XY) |
MPEE1:2+8L/1000µm(被検物質量5kg以下)
MPEE2:3+8L/1000µm |
| (Z) |
MPEE1:3+L/50µm |
| カメラ |
カラー1/3型3CCD(プログレッシブスキャン)/白黒(オプション) |
| 作動距離 |
73.5mm/レーザAF使用時は63mm(オプション) |
| 倍率/視野 |
0.35〜3.5×/13.3×10〜1.33×1mm |
| オートフォーカス |
画像AF/レーザAF(オプション) |
| 照明 |
透過、垂直落射、8分割LEDリング照明 |
| 供給電源 |
100V-240V〜、50/60Hz |
| 消費電流 |
5A-2.5A(ホストコンピュータ等、周辺装置の消費電流は含まず) |
| 寸法(W×D×H)/質量 |
本体 565×690×740mm(最小高さ時)/72kg
本体+測定台+コントローラ 650×700×1360mm/123kg
コントローラ 145×400×390mm/13kg |
| 設置寸法(W×D) |
2000×1000mm(測定台、タワー型PCおよびラックを含む) |
| ホストコンピュータ |
| 本体/OS |
IBM PC/AT互換機/Windows®XP Pro SP2以上 |