| ウェハ自動搬送測定システム VMR-K3040ZC+NWT-3000 |
| 寸法 |
標準時 |
3108mm(W) X 1300mm(D) X 2010mm(H) |
| フルオプション時 |
3108mm(W) X 1600mm(D) X 2275mm(H) |
| 質量 |
標準時 |
1600kg（VMR-K3040ZC質量を含む） |
| フルオプション時 |
1820kg（VMR-K3040ZC質量を含む） |
| 適合ウェハサイズ |
SEMI規格適合 サイズ300mm
反りの許容値は、200μm以下
許容値外の変形ウェハ対応は別途対応
オプションで8インチウェハにも対応 |
| 適合キャリア |
SEMI規格適合 300mm用キャリア（FOUPおよびドアなしFOSB） |
| ロードポート数 |
標準時 1ポート（特注対応にて2ポート） |
| 電源規格 |
電源電圧 |
定格 AC200V系単相／変動±10%以下 |
| 電源周波数 |
50／60Hz |
消費電力 |
約30A（フルオプションでの最大値） |
| 接続手段 |
端子盤 ELB101（端子ねじM5）／GB101（端子ねじM5） |
| 真空規格 |
真空圧 |
−75kPa以上／30l/min(ANR) |
| 接続手段 |
φ1/4インチチューブ接続用SwageLock(SUS製) |
| 適合規格 |
CEマーキング |
取得 |
| SEMI規格適合 |
SEMI-S2／-S8／-F47 |
| その他 |
NFPA79 適合 |
