NEXIV VMR 標準倍率ヘッド 高倍率ヘッド LUヘッド ソフトウェア オプション 仕様 寸法図

VMR-H3030 VMR-1515 VMR-3020 VMR-6555 VMR-10080 VMR-12072
VMR-H3030TZ VMR-1515TZ VMR-3020TZ VMR-6555TZ VMR-10080TZ VMR-12072TZ
　 VMR-1515LU VMR-3020LU VMR-6555LU VMR-10080LU VMR-12072LU

NWL860T NWT-3000 VMR-K3040ZC VMR-C4540

VMR-H3030 / TZ
VMR-3030 / TZ
VMR-1515 / TZ / LU
VMR-1515 / TZ / LU
VMR-3020 / TZ / LU
VMR-3020 / TZ / LU
VMR-6565 / TZ / LU
VMR-6565 / TZ / LU
VMR-10080 / TZ / LU
VMR-10080 / TZ / LU
VMR-12072 / TZ / LU
VMR-12072 / TZ / LU
ウェハ自動搬送測定システム
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VMR-C4540
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