■CFI60光学システムを搭載
 ニコンの光学技術を結集したCFI60光学系が、明るく高コントラストな画像を実現します。大型液晶基板、カラーフィルタなどの画像観察に威力を発揮。NEXIVの画像処理による寸法測定と画像観察が両立します。また、高コントラストのDICスライダで検出感度の高い微分干渉像が得られます。 |
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■電動ユニバーサルレボルバ
CNC操作が可能な電動レボルバにより、ティーチングプログラムの中での倍率変換が可能。最適な倍率、最適な対物レンズでの顕微鏡観察を可能にします（変倍を伴う長寸法測定では精度保証はできません）。 |
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■測定からデータ処理までを自動リプレイ
透過照明および明暗視野照明の調光、オン／オフをCNC制御。寸法測定結果のCSVファイル出力や、指定画像の保存が行えます。また、高精度なステージによりレビューも可能です。
手動設定項目
・明視野／暗視野照明の切り換え
・視野絞り、開口絞りの設定
・ポラライザ、アナライザ、ノマルスキプリズムの設定 |
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■スピーディなイメージ（画像）AF機能
CFI60光学系に対応したフォーカシング機構を採用。高速・高精度なイメージ（画像）オートフォーカスを実現しています。 |
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■電動ポラライザ／アナライザ（オプション）
手元で回転操作できる電動ポラライザ／アナライザをオプションで用意。試料に合わせて最適なコントラストを得ることができ、微分干渉観察では位相段差をよりシャープに見ることができます。 |
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■豊富に揃ったCFI60対物レンズ
フレア対策を徹底するとともに、高N.A.と長作動距離を両立してコントラストの高い鮮明な像を実現したニコンCFI60光学系を搭載。標準装備のCFI LU Plan BDをはじめ、豊富に揃ったCFI60ユニバーサル対物レンズシリーズが使用できます。
また、アダプタを介して、液晶基板検査専用のCF IC LCD Plan CR対物レンズを装着すると、ガラス基板越しの像でもクリアに観察することができます。
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| CFI LU Plan Epi |
CFI LU Plan Epi ELWD |
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| CFI LU Plan BD |
CFI LU Plan BD ELWD |
| CFI60対物レンズ |
倍率 |
開口数 |
作動距離（mm） |
| CFI LU Plan BD |
5X |
0.15 |
18.00 |
| 10X |
0.30 |
15.00 |
| 20X |
0.45 |
4.50 |
| 50X |
0.80 |
1.00 |
| 100X |
0.90 |
1.00 |
| CFI LU Plan BD ELWD |
20X |
0.40 |
13.00 |
| 50X |
0.55 |
9.80 |
| 100X |
0.80 |
3.50 |
| CFI LU Plan Epi* |
5X |
0.15 |
23.50 |
| 10X |
0.30 |
17.30 |
| 20X |
0.45 |
4.50 |
| 50X |
0.80 |
1.00 |
| 100X |
0.90 |
1.00 |
| CFI LU Plan Epi ELWD* |
20X |
0.40 |
13.00 |
| 50X |
0.55 |
10.10 |
| 100X |
0.80 |
3.50 |
| CFI LU Plan Apo BD |
150X |
0.90 |
0.42 |
| CFI LU Plan Apo Epi* |
150X |
0.95 |
0.30 |
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* EPI対物レンズシリーズの取り付けにはLU対物アダプタが必要です。
| LU対物アダプタM32-25 |
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| CF＆IC対物レンズ* |
倍率 |
開口数 |
作動距離（mm） |
| CF IC LCD Plan CR |
20X |
0.40 |
10.18** |
| 50X |
0.55 |
7.78** |
| 100X |
0.80 |
1.1** |
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| 種類 |
倍率 |
開口数 |
作動距離 （mm） |
ガラスの厚み補正範囲 （mm） |
| CFI L Plan EPI CR |
20X |
0.45 |
10.9〜10.0 |
0〜1.2 |
| CFI L Plan EPI CR |
50X |
0.7 |
3.9〜3.0 |
0〜1.2 |
| CFI L Plan EPI CRA |
100X |
0.85 |
1.2〜0.85 |
0〜0.7 |
| CFI L Plan EPI CRB |
100X |
0.85 |
1.3〜0.95 |
0.6〜1.3 |
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* CF＆IC対物レンズの取り付けにはC-OA 15mmアダプタが必要です。
** ガラスの厚みが1.1mmの場合の作動距離です。ガラスの厚みの補正範囲は各倍率ともに1.2〜0.6mmです。作動距離はガラスの厚みによって変動します。 |
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■ガラス基板越しの作例写真に見るCR対物レンズの効果
ガラス越しでもエッジをシャープに観察することができます。
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| Plan EPI対物レンズ使用時 |
CR対物レンズ使用時 |
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■微分干渉観察作例／明視野観察作例
| 微分干渉観察作例 |
明視野観察作例 |
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| CFI LU Plan BD 20×対物レンズ使用 |
CFI LU Plan BD 50×対物レンズ使用 |
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