■高N.A.の対物レンズを搭載
高倍側対物レンズは、高倍率高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.（0.55）、低ディストーション。解像度の高い画面で高精度な測定ができます。一方、低倍側対物レンズは広視野を確保。高精度と使いやすさを実現しました。 |
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■新開発、1×〜120×の超高変倍比ヘッド
高倍／低倍それぞれ7.5倍の2対物レンズ光路切替え式により、1×〜120×の超高変倍比を達成した高倍率ヘッドを新開発。8段階のズームポジションにより、低倍での広視野サーチから最小測定線幅約1μm以下の高倍観察まで、最適倍率が得られます。さらに、高倍ならではの高い画面内繰り返し精度を実現しています。
光学倍率
総合倍率
視野 |
1×
36×
4.67×3.5 |
2×
72×
2.33×1.75 |
4×
144×
1.165×0.875 |
7.5×
270×
0.622×0.467 |
光学倍率
総合倍率
視野 |
16×
576×
0.291×0.218 |
32×
1146×
0.146×0.109 |
64×
2292×
0.073×0.055 |
120×
4320×
0.039×0.029 |
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＊総合倍率は、20型TFTモニタをUXGA（1600×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
＊1×〜7.5×は低倍側対物レンズ使用時、16×〜120×は高倍側対物レンズ使用時です。
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1× |
2× |
4× |
7.5× |
16× |
32× |
64× |
120× |
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■微小スポットの高精度TTLレーザAF
高N.A.対物レンズを組み込んだ、微小スポットの高分解能TTLレーザオートフォーカス機構を搭載。薄物透明／半透明体（レジスト等）表面でも乱反射面でも検出性能が大幅にアップし、表面形状に依存しないシャープなオートフォーカスが可能。1000点／秒の高速ならい測定も可能で、高精度で汎用性の高いZ軸測定が行えます。
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| TTLレーザAFのしくみ |
微小段差測定例 |
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■3系統のCNC制御により、あらゆるワーク形状に最適照明
垂直落射、透過（高倍ヘッド）、暗視野照明の3系統をCNC制御することにより、あらゆるワーク形状に最適照明を提供。微細なパターンエッジをシャープに検出でき、高精度な測定が行えます。
▲低倍側暗視野照明 |
▲高倍側暗視野照明 |
垂直落射照明 |
暗視野照明 |
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■イメージ（画像）AF機能も装備
 TTLレーザAFが使えない部分の測定に有効なイメージ（画像）AFは、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャン・タイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。
また、画面内の多点同時フォーカス検出機能により、断面形状測定がスピーディに行えます。 |
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