NEXIV VMR＞標準光学ヘッド機

NEXIV VMR

標準倍率ヘッド

高倍率ヘッド

LUヘッド

VMR-H3030	VMR-1515	VMR-3020	VMR-6555	VMR-10080	VMR-12072
VMR-H3030TZ	VMR-1515TZ	VMR-3020TZ	VMR-6555TZ	VMR-10080TZ	VMR-12072TZ
	VMR-1515LU	VMR-3020LU	VMR-6555LU	VMR-10080LU	VMR-12072LU

■ 広視野、高N.A.の対物レンズを搭載	■15倍ハイスピードズームを搭載した標準ヘッド
■ 長作動距離のTTLレーザAFを標準装備	■ 高速・高精度のイメージ（画像）AF
■ 4系統のCNC制御により、あらゆるワーク形状に最適照明

■広視野、高N.A.の対物レンズを搭載

高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.（0.35）、低ディストーションの対物レンズは、全倍率範囲で50mmの長作動距離を実現。倍率範囲の異なる3タイプのNEXIVのすべてに対応し、低倍観察時の広視野、高倍観察時の高精度のどちらのニーズにも対応できます。

■15倍ハイスピードズームを搭載した標準ヘッド

標準倍率ヘッドは、5段階／15倍のCNCハイスピードズームを搭載。測定箇所の大きさに応じて最適な倍率で測定できます。

タイプ1	光学倍率総合倍率視野	0.5× 18× 9.33×7	1× 36× 4.67×3.5	2× 72× 2.33×1.75	4× 144× 1.165×0.875	7.5× 270× 0.622×0.467
タイプ2	光学倍率総合倍率視野	1× 36× 4.67×3.5	2× 72× 2.33×1.75	4× 144× 1.165×0.875	8× 288× 0.582×0.437	15× 540× 0.311×0.233
タイプ3	光学倍率総合倍率視野 2	2× 72× 2.33×1.75	4× 144× 1.165×0.875	8× 288× 0.582×0.437	16× 576× 0.291×0.218	30× 1080× 0.155×0.117

＊総合倍率は、20型モニタをUXGA（1600×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です

1×	2×
4×	8×
15×	カラーカメラ（オプション）

■長作動距離のTTLレーザAFを標準装備

高分解能、長作動距離の高速TTLレーザオートフォーカス機構を搭載。低倍観察でも段差のある狭部へシャープにオートフォーカスでき、表面形状に依存しない高速AFを実現。1000点／秒の高速ならい測定も可能で、高精度で汎用性の高いZ軸測定が行えます。


▲フェースフォーカス	▲エッジフォーカス

■高速・高精度のイメージ（画像）AF

TTLレーザAFが使えない部分の測定に有効なイメージ（画像）AFは、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャン・タイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。

▲照明ウィンドウ

■4系統のCNC制御により、あらゆるワーク形状に最適照明

垂直落射、透過、8分割LEDリング照明（中入射角／大入射角）の4系統をCNC制御することにより、あらゆるワーク形状に最適照明を提供。検出しにくかったエッジをシャープに検出でき、高精度な測定が行えます

入射角度が異なる2系統の8分割LEDリング照明を装備。8方向の照明と光量を任意に組み合わせできるので、垂直落射照明ではとらえられない微妙なエッジの検出が可能。セラミックパッケージ・セラミック基板／プリント基板などの測定物に非常に有効です

■中入射角LEDリング照明

50mmのワーキングディスタンスが確保できる、角度37°のリング照明です。面取り面など、斜めの面の照明に適しています。

■大入射角LEDリング照明

ワーキングディスタンスは小さくなりますが、より急傾斜の面を照明できるので、中入射角では観察が難しいワークをくっきり観察できます（角度は75°固定）。
使用しないときは上に待避させて、50mmのワーキングディスタンスを確保することができます。